FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос

KLA-Tencor RS-75

KLA-Tencor OmniMap RS75

В то время, как в мире наблюдается тенденция к постоянному увеличению размеров пластин с целью удешевления стоимости изготовления элементов, большинство фабрик по-прежнему ориентировано на пластины 76, 100 и 150 мм. Специально для таких фабрик, компания KLA-Tencor представляет свою разработку — систему измерения удельного сопротивления KLA-Tencor OmniMap® RS75, основанную на использовании технологии четырехзондового метода. Оборудование обеспечивает высокоточное измерение сопротивления пластин со значительно большей скоростью по сравнению с существующими аналогами.

Эта модель специально ориентирована на применение в производстве для контроля широкого спектра технологических операций. Система обеспечивает высокую пропускную способность контроля на уровне 100 пластин в час в режиме температурной компенсации, выставления пластины по уровню для 200 мм пластин.

KLA-Tencor OmniMap® RS75 работает как в режиме ручной загрузки, так и с использованием кассетной загрузки.

Более подробную информацию возможно получить отправив запрос по электронной почте на адрес sales@imc-systems.ru

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
E-mail*
Телефон*
Вопрос*