FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос

KLA-Tencor Candela CS20

Оптическая система инспекции поверхности KLA-Tencor Candela CS серии предназначена для детального обследования поверхности полупроводниковых и оптоэлектронных материалов и позволяет контролировать технологический процесс и значительно повышать выход годной продукции. Оборудование подходит для контроля как непрозрачных (Si, GaAs, и InP), так и прозрачных материалов (SiC, GaN, сапфир, стекло).

В системе используется запатентованный анализатор оптической чувствительности, непрерывно измеряющий интенсивность рассеянного света, изменение топографии, коэффициента отражения и фазового сдвига волны для автоматического определения и классификации визуальных образов дефектов в соответствии с используемой библиотекой типовых дефектов.

В основе анализатора оптической чувствительности лежит комбинация таких методик, как скаттерометрия, элипсометрия, рефлектометрия и оптическая профилометрия. Использование комбинации этих методик позволяет контролировать поверхность пластин на предмет технологических загрязнений, поверхностных и подповерхностных дефектов, изменений топографии и неоднородности поверхности тонких пленок. Система Candela CS характеризуется высокой чувствительностью, пропускной способностью и надежностью контроля, что делает ее оптимальной системой инспекции для нужд сложных технологических процессов.

Общий вид системы Candela CS20 с автоматической загрузкой пластин и сортером

Технические особенности:

  • Четыре измерительные методики совмещенные в едином приборе
  • Оборудование разработано с учетом промышленных  стандартов на инспекцию поверхности в полупроводниковой отрасли и отрасли производства оптоэлектронных материалов
  • Пропускная способность контроля для пластин 2' – 40 шт/час, для платин 8' – 20 шт/час.
  • Продвинутые алгоритмы расшифровки результатов – возможность создания собственной библиотеки дефектов

Автоматизированный контроль производства светодиодных материалов, позволяющий повысить качество производимых подложек, увеличить выход годных изделий.

Анализатор оптической чувствительности Candela

Контроль дефектности и неизменности условий технологического процесса являются критическими для производства идентичных изделий. Технологические загрязнения, такие как посторонние частицы или пятна могут приводить к изменению свойств покрытий и вызывать проблемы с адгезией промежуточных слоев. Поверхностные и подповерхностные дефекты, такие как микрокаверны, царапины, выступы, дефекты кристаллической структуры и прочие нерегулярности поверхности могут негативно сказаться при последующей обработке и ухудшить характристики изделий.

Измерительная схема системы Candela CS20

Candela CS20 является высокочувствительным измерительным оборудованием, которое может быть многократно использовано для контроля различных стадий контроля процесса производства в автоматическом режиме без необходимости длительного ручного контроля.

Продвинутые алгоритмы анализа поверхности

Запатентованная система анализатора оптической чувствительности комбинирует многоканальную детекторную систему для измерения рассеяния света, коэффициента отражения, фазового сдвига, а так же изменений топографии на поверхности пластины.

Система CandelaCS20 быстро сканирует поверхность пластины и представляет информацию в виде изображения 100% поверхности пластины в высоком разрешении. Получаемое изображение позволяет измерение как характеристик всей пластины в целом, так и рассмотрение мелких дефектов.

Для инспекции поверхности многочисленные измерения делаются одновременно, а затем анализируются на предмет наличия дефектов и их классификации. Методика инспекции позволяет использовать переменные критерии распознавания визуальных образов дефектов.

Более подробная информация доступна на сайте производителя, а так же на странице в видео-хостинге youtube.

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
E-mail*
Телефон*
Вопрос*