FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос

Ионная пушка ISE 5

Краткий обзор

  • Большие токи пучка
  • Широкий диапазон энергии (от 300 эВ до 5 кэВ)
  • Компактный размер

ISE 5 представляет собой компактный и универсальный источник ионного распыления, который обладает высокими токами мишени свыше 80 мкА в широком диапазоне энергий от 300 эВ до 5 кэВ. Возможность работы в диапазоне низких энергий делает ISE 5 идеальным выбором для очистки чувствительных образцов и монокристаллов.

Источник ионов ISE 5 работает в широком диапазоне энергий от 250 эВ до 5 кэВ и обеспечивает максимальный ток пучка более 80 мкА. Простая конструкция источника позволяет легко демонтировать отдельные его компоненты для очистки и ремонта, что обеспечивает его долгую и беспроблемную эксплуатацию.

Принцип работы

ISE 5 использует в работе проверенный временем принцип холодного катода. Газообразный аргон, подается в газовую ячейку, которая действует как источник ионов с холодным катодом. Напряжение, приложенное между анодом и катодом, инициирует и поддерживает газовый разряд. Продольное магнитное поле в области источника заставляет все электроны, полученные в результате разряда, двигаться по спирали (тем самым удлиняя их путь) в области разряда, результатом чего является лавинообразная генерация ионов и электронов.

Ионы извлекаются из газовой камеры через отверстие в катодной пластины и попадают в пролетную трубу. В трубе ионы путешествуют с высокой энергией, но только при конечной энергии пучка, как только они покинули источник. Эта функция позволяет источнику поддерживать приемлемый ток на выходе при низких энергиях пучка.

Фокусирующий элемент в пролетной трубе позволяет сфокусировать ионный пучок на образец. Для нормальной работы газ непрерывно подают в источник через натекатель, обеспечивающий перепад давления между источником газа и источником ионов. Магнитное поле обеспечивает генерацию разряда при сравнительно низких давлениях в газовой ячейке источника ISE 5.

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
Телефон и email*
Напишите вопрос и наименование продукции*
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.