FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос

Оптические (голографические) профилометры

Оптические профилометры на базе DHM — новые возможности, недоступные интерферометрам.

Цифровая голографическая микроскопия и профилометрия (Digital Holographic Microscopy) разработана и запанетнована компанией Lyncee Tec SA — компанией, зародившейся в одной из лабораторий Политехнического университета города Лозанна (Швейцария). Эта передовая методика по уровню измерительных характеристик на настоящий момент находится среди наиболее точных оптических методов изображения поверхности. Разрешающая способность по оси Z находится на уровне лазерных интерферометров, а размер минимальной разрешающей способности в латеральной плоскости ограничевается только дифракционным пределом.


Преимущества использования голографии в профилометрии поверхости

Измерения в режиме реального времени. Использование голографии позволяет получать информацию о всем поле кадра одновременно (без сканирования), что делает возможным анализ изменения топологии в реальном времени и позволяет исключить влияние посторонних вибраций, что является уникальной характеристикой для средств высокоточного измерения поверхности. Такая стойкость к вибрациям позволяет получать суб-нанометровую разрешающую способность не только в условиях лаборатории с хорошей системой виброподавления, но и в условиях цеха, ЦЗЛ, по соседству с источниками акустических и механических вибраций.

Универсальность. Использование технологии голографической микроскопии открывает множество возможностей, недоступных с помощью других методик, а возможность работать с поверхностями с коэффициентом отражения менее 1% делает их применимыми для широкого спектра материалов. Благодаря высокой частоте сбора данных и простоте использования, цифровые голлографические микроскопы Lyncee Tec SA находят свое применение как в рутинном контроле на серийном производстве или отделе ОТК, так и в сложных исследовательских задачах.

Динамический анализ работы микросистемной техники (МЭМС). Тот факт, что данные о поверхности собираются без сканирования позволяет так же исследовать работу разного рода микро-механических систем (МЭМС, МОЭМС) в ходе их нормальной эксплуатации. С использованием специального стобоскопического исследовать работу таких устройств возможно на частотах до 25 МГц. Иными словами, перемещение микро-затворов, повороты микро-линз можно изучать не только в статическом положении, но и в ходе их нормального функционирования, причем перемещения одновременно измеряются и в нормальном и в латеральном направлении.

Оборудование предусматривает несколько базовых моделей, отличающихся каркасом основания, количеством лазеров и вертикальным диапазоном. При этом, каждая из моделей может быть доработана с учетом пожеланий клиента, а так же встроена в уже существующий исследовательский комплекс, либо производственную линию.


DHM R2203 серия

Оптический профилометр Lyncee Tec R2203 является флагманской моделью в линейке и позволяет реализовывать измерительные возможности оборудования на самом широком спектре материалов — от сверхплоских (атомно-гладких) поверхностей до развитого рельефа среднего класса полировки. Прибор оснащен тремя источниками лазерного излучения, шестьюпозиционной поворотной турелью для объективов и системой корректировки оптической разности хода для проведения измерений через покровное стекло, через защитные стекла камер и ячеек.

Прибор может оснащаться длиннофокусными объективами с рабочей длиной до 20 см, что делает доступным уникальную возможность высокоточных измерений на недостижимых для обычных средств рабочих длинах. Lyncee Tec R2203 имеет возможность функционального предметного стола, оснащенного функциями нагрева, охлаждения, воздействия магнитного и электрического поля, а так же приложения механических напряжений.

  • Три источника лазероного излучения;
  • 15 микрон вертикальный диапазон;
  • Суб-нанометровая разрешающая способность;
  • Широкие возможности для интеграции.

Опционально  для Lyncee Tec R2203 доступна система контроля когерентности, увеличивающая диапазон вертикальных измерений до нескольких миллиметров.


       

DHM R2103 серия

Серия профилометров Lyncee Tec R2103 отличается превосходным соотношением цена/качество и обеспечивает одновременное измерение профиля поверхности на двух длинах волн. Прибор предназначен для измерения ступеней профиля высотой до 3 мкм с суб-нанометровым разрешением. Опционально возможно расширение измерительных возможнстей по вертикали до нескольких миллиметров.

  • Одновременное использование двух длин волн;
  • 3 мкм вертикальный диапазон с нанометровым разрешением сканирования.

DHM R1003 серия

 Прибор серии Lyncee Tec R1003 является базовым и наиболее доступным в линейке голографическим микроскопом, оснащенным одним лазерным источником и предназначеным преимущественно для исследования сверхгладких материалов. Вертикальный диапазон составляет 340 нм.

  • Наиболее доступная цена;
  • Один лазерный источник света;
  • 340 нм вертикального диапазона.

 

Micro-valve

 

 

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
E-mail*
Телефон*
Вопрос*