FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос

Эллипсометрия для исследований функциональных покрытий кантилеверов

В 2004 году была изобретена технология нанесения покрытия микроэлектромеханических систем (МЭМС), как, например, микромеханических кантилеверных сенсоров с помощью ковалентного наращивания щеточного полимерного слоя (Bambu и др.*). Такой слой был нарощен по методике радикальной полимеризации. Визуализирующая спектроскопическая эллипсометрия сделала возможным описание покрытий на микроскопических поверхностях кантилеверов. Из спектра угла падения  были получены и описаны толщина и оптические величины слоя золота. Для определения толщины кантилевера и тиоловых (или других) функциональных групп кантилевера были записаны delta и psi – спектры в диапазоне 360 – 900 нм. Гомогенность полимерного покрытия оказалось возможным отследить с помощью карт распределения толщины с латеральным разрешением 1 микрон.

*Synthesis and Characterization of Polymer Brushes on Micromechanical Cantilevers, G.G. Bumbu, G. Kircher, M. Wolkenhauer, R. Berger, J.S. Gutmann, Macromol. Chem. Phys., vol. 205, pp. 1713 (2004)

Читать полностью статью

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
Телефон и email*
Напишите вопрос и наименование продукции*
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.