FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос

Электронно-лучевые испарители

Краткая информация

EFM серия электронно-лучевых испарителей со встроенным монитором потока идеально подходит для высокочистого испарения широкого диапазона материалов в условиях сверхвысокого вакуума, начиная от тугоплавких металлических проволок и прутков и кончая хрупкими, химически активными веществами, испаряемыми из тиглей.

  • Испарение с проволоки, прутка или тигля
  • Температурный диапазон вплоть до 3300 °C
  • Встроенный датчик потока
  • Водяное охлаждение для минимального повышения давления
  • Загрузка сзади для сохранения юстировки
  • Удобное ПО на базе LabView

Материалы

Испарение материалов, таких как Fe, Co, Ni, Pt, Ag, Au, Al, Mo, Та, W, а также непроводящих материалов или полупроводников, например, кремния. Точное и аккуратное осаждение хрупких или химически активных веществ. Использование тигля из нержавеющей стали с соплом позволяет проводить плавное кнудсеновское испарение С60 и многих других ароматических соединений с минимальной потерей материала. Встроенный монитор потока осуществляет воспроизводимый контроль скорости осаждения в режиме реального времени и, раз откалиброванный, устраняет необходимость в кварцевом мониторе для определения толщины напыления.

Состояние дегазации и начало реального потока испаряемого вещества показаны более точно, чем при измерении температуры. Поток отображается на блоке управления и также доступен для процессов испарения с компьютерным управлением. Встроенный затвор с ручным или моторизированным (опция, управление от ПК) управлением регулирует время осаждения. Требуемый поток испаряемого вещества контролируется и регулируется при закрытом затворе. EFM испарители разработаны с учетом эффективной концентрации мощности нагрева на испаряемом веществе с минимальным рассеиванием тепла. Для поглощения теплового излучения и поддержания сверхвысокого вакуума (на уровне ниже 10-10 мбар) испаряемое вещество полностью окружено кожухом с водяным охлаждением. Характерная особенность EFM испарителей — загрузка сзади — позволяет менять тигли и, тем самым, проводить напыление различных материалов при одинаковом положении источника без отделения EFM испарителя от вакуумной камеры. Низкие магнитные поля рассеяния на образце в процессе напыления позволяют использовать испаритель во время анализа методами RHEED (дифракция быстрых электронов) или LEED (дифракция медленных электронов).

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
Телефон и email*
Напишите вопрос и наименование продукции*
Нажимая на кнопку "Отправить", я даю согласие на обработку персональных данных.