FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос

Атомно-силовая микроскопия & эллипсометрия

 

Визуализирующий эллипсометр nanofilm_ep4 вместе с атомно-силовым микроскопом NanosurfNaniteAFM

Абсолютно новой и революционной технологией в исследовании тонких пленок является интеграция визуализирующей эллипсометрии и атомно-силовой микроскопии. Если говорить в общих словах, информация о толщине образца получается с помощью эллипсометрии, и топография – атомно-силовой микроскопии. Визуализирующий эллипсометр позволяет получить численные значения толщины и оптических величин с латеральным разрешением вплоть до 1 мкм. В дополнение к этому, он также обеспечивает визуализацию образцов в реальном времени.

После быстрого сбора данных об оптических свойствах образца визуализирующим эллипсометром интеграция атомно-силового микроскопа в установку позволяет дальнейшее масштабирование в область субмикронного разрешения в латеральном направлении и субнанометрового в вертикальном.

Типичной задачей визуализирующего эллипсометра является упрощение поиска интересующих областей на образце. Вариации в толщине образца можно довольно быстро обнаружить с помощью эллипсометра. После нахождения интересующей области топографические детали можно с лучшим латеральным разрешением измерить с помощью АСМ. К тому же, АСМ позволяет параллельно с записью топографии осуществлять измерения других физических величин (как, например, проводимость, жесткость или магнитные свойства), тем самым расширяя полноту получаемой информации об образце.

Современные приложения:

  • Центрифугирование пленок: характеристика покрытий, основанных на пористых полимерах, для улучшения квантовой эффективности фотоумножителей (V. Körstgens, C.-C. Hsu, D. Paneque, J. Wiedersich, P. Müller-Buschbaum (2008): Improvement of quantum efficiency of photomultiplier tubes by humidity controlled coatings based on porous polymer structures. Applied Physical Letters 93, 041916)
  • Коллоидные кристаллы: формирование из поверхностно-модифицированных кремниевых сфер методом Ленгмюра-Блоджетт и дальнейший анализ полученных пленок Ленгмюра-Блоджетт методами эллипсометрии и атомно-силовой микроскопии (A. Gil,*M. Vaupel, F. Guitiana, D. Möbius (2007) Stress-free production and effective medium model of colloidal crystals. J. Mater. Chem. 17, 2434–2439)
  • Устройства хранения данных: характиеристика магнитных головкок жестких дисков с помощью спектрального визуализирующего эллипсометра. Разработка модели подложки TiC/Al2O3 с учетом шероховатости поверхности и градиента концентрации TiC на окиси алюминия (Vaupel M, Yunfeng S., Zhimin Y. (2008) n and k testing of magnetic heads with imaging spectroscopic ellipsometry. physica status solidi 205, 772-778)

 

Сам модуль интеграции “атомно-силовая микроскопия” включает в себя атомно-силовой микроскоп Nanosurf NaniteAFM, программное обеспечение, систему активной виброизоляции и оптимизированную систему интеграции. Позиционирование головки АСМ в области образца осуществляется с помощью моторизованного крепления.

Модуль специально разработан для использования совместно с визуализирующим эллипсометром nanofilm_ep4.

Технические характеристики атомно-силового микроскопа (NanosurfNaniteAFM)

 

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
E-mail*
Телефон*
Вопрос*