FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения
Задать вопрос
280I-серия для измерения удельного сопротивления

280I-серия для измерения удельного сопротивления

Настольная система для измерения удельного сопротивления серии 280I обладает широким функционалом, охватывающим большинство задач, связанных с измерением удельного сопротивления полупроводниковых пластин. Продуманная конструкция и надежность позволяют осуществлять измерения с высокой точностью и воспроизводимостью. Компания 4 Dimension предлагает ряд конфигураций систем серии 280I:

280 PI Базовое исполнение в серии. Автоматически измеряет 1, 5 и 9 областей контроля с возможностью выведения результатов на печать. Измерительный диапазон – 1 мОм – 800 кОм

280 PCI В дополнение к функционалу 280 PI имеет возможность построения ВАХ, хранит в памяти до 15 программ проведения измерений, комплектуется отдельным персональным компьютером

280 SI Комплектуется персональным компьютером под управлением ОС MS Windows, поддерживает хранение библиотеки методик контроля, ведение статистики измерений, измерения p-n переходов, поддержка интерфейса SECS-II, диагностики, а так же многих других функций

280 TSI Имеет аналогичный функционал с 280 SI, дополненный температурной компенсацией

280 TCI В дополнении к функциям 280 TSI имеет пакет статистического управления процессом.

280 DI В дополнении к функциям 280 SI обладают расширенным диапазоном измерений до 800 ГОм

280 HCI Обладает аналогичными функциями с 280 TCI, дополнительно обладая высокотемпературной камерой

Технические характеристики

Размеры пластин                                                  50, 75, 100, 125, 200 мм

Размер мертвой зоны                                            3 мм от края пластины

Функция «быстрых» измерений

Шаг между измерениями                                       0,1 мм

Максимальное количество измерительных точек    6000

Измерительный диапазон                                      1 мОм – 8 ГОм

Воспроизводимость измерений                             <0,2%

Точность                                                              <0,1%

Разрядность АЦП измерителя тока                        16 Бит

Прикладываемое напряжение                               до 125 В

Анализ данных

  • Программное обеспечение Automap 280I
  • Карта распределения удельного сопротивления по поверхности пластины
  • Тестирование p-n переходов
  • Измерение объемного сопротивления
  • Сканирование сопротивления по диаметру
  • Статистический анализ данных
  • Компенсация изменения толщины, температуры и краевых эффектов
  • Хранение данных в организованных библиотеках

Требования к помещению

Потребление электроэнергии                             100 – 220 В, 50-60 Гц, 200 Вт

Вакуумный зажим        20 мм. рт. ст.

Габаритные размеры (ДхШхВ)                              547х508х635 мм

Измерительные головки

В зависимости от задач предлагается широкий набор измерительных головок и наконечников.

Закрыть

Задать вопрос

Оборудование для контроля воды IMC Systems - научное оборудование, инспекция в полупроводниковой промышленности, оборудование для экологического мониторинга и контроля технологических процессов

ФИО*
Компания
E-mail*
Телефон*
Вопрос*