FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения

Пленки ITO

Оксид индия-олова  (ITO, Indium tin oxide) является трехкомпонентным материалом с различным содержанием индия, олова и кислорода. Он обладает интересной комбинацией свойств – электропроводностью и оптической прозрачностью. Вкупе с несложной технологией создания тонких пленок этого материала, оксид индия-олова может найти применение в различных современных технологиях, таких как: плоские дисплеи, “умные” стекла, органическая электроника, тонкопленочные фотоэлектрические устройства, функциональные окна. Уже сегодня материал используется для производства прозрачных электродов жидкокристаллических экранов, сенсорных экранов, антистатических покрытий, солнечных батарей. Пленки ITO наносят на лобовое стекло самолетов для защиты от замерзания. Тепло генерируется приложением напряжения поперек пленки. Для получения тонких пленок ITO применяются различные методы нанесения, один из распространенных способов – магнетронное распыление. Для оценки качества получаемых пленок необходимо знать латеральное распределение толщины и оптических свойств. Лучшим методом для решения этой задачи является спектральная визуализирующая эллипсометрия. Получая спектры эллипсометрических углов Delta/Psi, можно с помощью оптической модели восстановить функцию дисперсии коэффициентов отражения, поглощения, а также получить распределение толщины для каждого пикселя изображения.

Камнем преткновения для традиционной эллипсометрии является тот факт, что ITO пленки наносят на прозрачные подложки, и при оценке таких объектов фоновое отражение может исказить результаты. В приборах Accurion эта проблема решена с помощью технологии безынтерференционного освещения. Фоновое отражение подавляется с помощью интегрированного в прибор устройства под названием beam cutter.

1631 1633 1634
Карта толщины ITO пленки с латеральным разрешением 20 мкм Дельта-карта всего поля зрения. С помощью устройства beam cutter удалось получить области, не искаженные артефактами фонового отражения 3D Дельта-катра выбранного поля зрения. Видна граница нанесения пленки ITO

 

Скачать в формате pdf: ITO