FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения

Голографический анализатор для МЭМС

 

 

 

 

 

 

 

 

 


Комплексные решения исследовательских задач от измерений…

Анализатор МЭМС Lyncée Tec является комплексной системой для измерений и включает в себя:

  • предметные столы и устройства для закрепления образцов
  • вакуумные и температурные камеры
  • генераторы гармонического сигнала
  • запись электрических сигналов от исследуемого объекта
  • стробоскопический модуль для измерений в МЭМС и синхронизации

Зондовая станция и голографический микроскоп над пластиной

Анализатор МЭМС и зондовая станция над полупроводниковой пластиной


…До частотных и временных зависимостей

Программное обеспечение MEMSTool позволяет эффективно исследовать трехмерную топографию в динамическом режиме

  • перемещение в нормальном направлении (от 5 пм до 50 мкм)
  • перемещение в латеральной плоскости (от 1 нм до 5 мм)
  • анализ Бодэ и Фурье
  • карты распределения вибраций и синхронности работы

Анализ профиля поверхности

Амплитудно-частотная и фазо-частотная зависимость колебательной системы МЭМС