FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения

Анизотропные пленки

Оптическая анизотропия материалов подразумевает зависимость показателя преломления света от направления его распространения. Физически она вызвана макроскопической ориентацией микроскопических структур, как, например, молекул или кристаллических доменов. Анизотропия возникает во многих полимерных пленках, жидких кристаллах, органических светоизлучающих устройствах и нелинейных оптических материалах. Такие тонкие анизотропные пленки выступают в качестве структурированных матриц для различных типов дисплеев. Метод эллипсометрии позволяет измерить толщину пленки (рис. 1) и компоненты коэффициента преломления nx, ny, nz, по которым затем можно рассчитать эффективный коэффициент преломления (рис.2) как функцию угла падения и ориентации образца. Кроме этого визуализирующая эллипсометрия дает возможность измерить эти величины с высоким латеральным разрешением в четко локализованных областях и визуализировать домены с высокой контрастностью (рис.3).

Рис.1: Спектр Дельта и Пси в зависимости от угла падения (АОИ). Аппрксимацией изотропной моделью получено d = 45 нм и эффективный коэффициент преломления neff = 1.77  Рис.2: Эффективный коэффициент с учетом nx = 1.74 ny=1.89, полученных из анизотропной модели аппроксимацией спектра АОИ. Рис.3: Контрасное изображение (0,2 мм x 0,25 мм) доменов полимера с различными коэффициентами преломления

 

В данной работе в качестве образца исследовалась полимерная пленка на диоксиде кремния. Все измерения проводились на длине волны 901 нм, где поглощением можно пренебречь, и количество независимых параметров в оптической модели минимально. Автоматические измерения дельта и пси были проведены для четырех зон как функции угла падения луча света. Искомые величины толщины и компоненов коэффициента отражения nx, ny  были получены путем аппроксимации углового спектра эллипсометрических углов дельта и пси. 

Читать статью полностью: Characterization of an anisotropic film