FOLLOW US ON
+7 (495) 374-04-01
Отраслевые решения

CV92M

Отличительной особенностью версии CV92М является сниженная стоимость по сравнению с базовой моделью CV92A при сохранении измерительных характеристик. Уменьшение стоимости достигается благодаря отсутствию некоторых функций автоматизации контроля, применяемых для контроля пластин в ходе серийного производства и зачастую излишних в лабораторных условиях.

Указанная версия прибора является оптимальной для ведения НИР, исследований в рамках мелкосерийного производства, а так же для использования в университетских лабораториях и научно-образовательных центрах.

Семейство ртутных зондов CV92 соединяет в себе самые передовые технологии компании 4Dimensions для инспекции полупроводниковых пластин с  легкостью и безопасностью эксплуатации.

Технические характеристики

 

  • Площадь контакта 2*10-5 — 2 см2
  • Конфигурация: точка, точка и кольцо, четыре точки
  • Размеры тестируемых пластин Ø0,5—8»
  • Прикладываемое электрическое напряжение ± 1000В
  • Частотный диапазон внешних разъемов для подключения измерителей до 10 МГц
  • Ручной контроль положения тестируемой пластины с индикацией положения на ЖКИ
  • Замкнутая система подачи ртути
  • Вакуумный зажим образцов
  • Габаритные размеры 800х610х270 мм
  • Потребление 230В 200 Вт
  • Вес 50 кг

 

Программное обеспечение

  • Интуитивно понятный интерфейс пользователя
  • ОС MS Windows
  • Программные средства обработки и автоматизации измерений
  • Двух– и трехмерные зависимости измеряемых параметров
  • Графическое представление C-V, I-V, V-t зависимостей
  • Импорт данных в формате ASCII в внешние программные среды
  • Программное обеспечение для хранения и каталогизации данных
  • Интерфейсы LAN/SECS, GEM

SW screenshot

Программное обеспечение CVmap для измерения и анализа результатов контроля

dopping dep SW

Результаты измерения распределения степени легирования по площади пластины

 Более подробная информация и брошюры доступны в разделе «Профилометры». Кроме того, всю интересующую информацию можно получить по запросу на адрес электронной почты sales@imc-systems.ru